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洁净室静电是其运行过程中不可或缺的会产生的东西，如果不可避免产生，只能尽量减少其带来的危害了。那么洁净室静电如何避免危害呢?我们不妨从以下几点做起：
一、静电库仑力吸上粉尘、污物带给无器件，增大泄漏或造成短路，使性能受损，成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径大于100pm、铝线宽度约10(Vm、氧化膜厚度在50pm时，最易使产品报废;现在线径更细，氧化膜很薄，很小粒径尘粒子就会损害元器件，这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。
静电放电
1)元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间融断。若人体带上10kV的静电荷，触摸器件脚时发生ESD,其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A，此时，就连一般的IC、MOS都会遭受损坏。
2)造成噪声、发射电磁波干扰。ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏的能量，频率跨越几MHz、甚几百MHz的强大噪声，可能引起元器件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如洁净室中，将晶片的EMIF箱放在钢的手推车上，晶片的ESD会通过电感传给手推车，车轮是绝缘的，则EMI的扩散会引起晶片处理机死机。
3)电击人体。人的ESD或对人的ESD当超过人体电击极限电流5mA以上时，人都会有各种伤害感觉,造成工作人员的情绪不安，以导致操作错误。半导体、平面显示器、光电子等洁净室，尽管做了很多工作，但洁净室的静电问题仍然影响着生产安全和产品、产量，影响着制造成本和效益，影响产品的质量和可靠性。
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