无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:

⑴天花板系统

包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

⑵空调系统

包括空气舱、过滤器系统、风车等。

⑶隔墙板(Partitional wall)

包括窗户、门。

⑷地板

包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。

⑸照明器具

包括日光灯、黄色灯管等。

⑹无尘室之建筑主体构造

一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件:

A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;

B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子;

C.吸湿性小;

D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高;